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极限压力由泵的抽气速率，各间隙的返流量，泵体泄漏量及高真空侧的放气量所决定。即：P＝(Q1+Q2+Q3)/δ式中：P－极限压力；δ－抽气速率；Q1－返流量；Q2－泄漏量；Q3－放气量。在这些参数中，Q1受排气压力即前级泵的极限压力的影响很大，在用水环泵作前级泵时，罗茨泵的极限压力随水环的饱和蒸汽压的不同而不同。是用同一台罗茨泵配不同的前级泵时的性能比较。前级泵的极限真空度愈高时，机组的极限真空度也随之；两级罗茨泵串联使用，则能提高机组的极限真空度（实质上就是前一个罗茨泵为后一个罗茨泵的前级泵），且性能曲线平缓扩大，也即使用的范围扩大（由曲线1与2，曲线3与5的比较而得）。
